現在高精度研磨加工技術是研磨技術中的一種，能夠獲得較高的零件表面質量，就能夠獲得極高的面部精度和無加工變質層的表面。

　　高精度研磨機采用合適的研磨加工機器和優良的研磨工藝的平面研磨，作為一種設備相對簡單，有可以得到很高的形體精度和表面質量的方法，依舊是精密加工有效的方法之一。

　　拋光是利用柔光工具和磨料顆粒或其他拋光對工件表面進行的修飾加工。拋光不能提高工件的尺寸精度或幾何形狀精度，而是以得到光滑表面或者鏡面光澤為目的的，所以通常是作為精密加工后面的一道工序。

研磨和拋光的原理基本上是一樣的，因此加工設備都是可以通用的，因此經常將研磨和拋光并提，統稱為研磨拋光技術。研磨拋光是可以通過單盤單面研磨拋光或者雙面研磨拋光實現的。　

　　超精度拋光較大的特點是它不改變工件的面部精度，只改善了表面的粗糙度，高精度研磨機能夠使工件的表面粗糙度達到納米級甚至是次納米級，超精度研磨機較大的特點就是獲得極高的面部精度，將精度平面研磨可以使工件的平面度達到十分之一甚至百分之一微米的水平，因此為了使工件獲得高的面型精度，低的表面粗糙度，我們會將精密研磨技術和超精密拋光技術并提，才能讓加工出非常精密的零件。

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